Bidh an ionnstramaid seo a ’gabhail ri dòigh tomhais interferometric gluasad ìre neo-conaltraidh, nach dèan e cron air uachdar a’ phìos obrach aig àm tomhais, is urrainn dha grafaigean trì-thaobhach micro-topography uachdar diofar phìosan obrach a thomhas gu sgiobalta, agus sgrùdadh agus obrachadh a-mach an tomhas toraidhean.
Tuairisgeul toraidh
Feartan: Freagarrach airson garbh uachdar diofar bhlocaichean tomhais agus pàirtean optigeach a thomhas; doimhneachd reticle an riaghladair agus an dial; tiugh còmhdach structar grating groove agus morf-eòlas structar a ’chrìoch còmhdach; uachdar an diosc magnetach (optigeach) agus an ceann magnetach Tomhas structar; garbh uachdar wafer silicon agus tomhas structar pàtrain, msaa.
Air sgàth cruinneas tomhais àrd an ionnstramaid, tha feartan tomhais neo-conaltraidh agus trì-thaobhach aige, agus bidh e a ’gabhail ri smachd coimpiutair agus mion-sgrùdadh luath agus àireamhachadh toraidhean tomhais. Tha an ionnstramaid seo freagarrach airson gach ìre de dh'aonadan rannsachaidh deuchainn is tomhais, seòmraichean tomhais iomairt gnìomhachais is mèinnearachd, bùthan-obrach giollachd mionaideach, agus cuideachd freagarrach airson ionadan foghlaim àrd-ìre agus ionadan rannsachaidh saidheansail, msaa.
Na prìomh pharaimearan teicnigeach
Raon tomhais de dhoimhneachd neo-sheasmhachd microscopach uachdar
Air uachdar leantainneach, nuair nach eil àirde gu h-obann ag atharrachadh nas motha na 1/4 tonn-tonn eadar dà piogsail ri thaobh: 1000-1nm
Nuair a tha mùthadh àirde nas motha na 1/4 den tonn-tonn eadar dà piogsail ri thaobh: 130-1nm
Ath-aithris tomhais: δRa ≤0.5nm
Meudachadh lionsa amas: 40X
Fosgladh àireamhach: Φ 65
Astar obrach: 0.5mm
Raon ionnstramaid sealladh Sealladh: Φ0.25mm
Dealbh: 0.13 × 0.13mm
Meudachadh ionnstramaid Lèirsinneach: 500 ×
Dealbh (air fhaicinn le sgrion coimpiutair) -2500 ×
Raon tomhais glacadair: 1000X1000
Meud picteil: 5.2 × 5.2µm
Tomhais ùine samplachadh (sganadh): 1S
Meòrachas sgàthan àbhaisteach ionnstramaid (àrd): ~ 50%
Faileas (ìosal): ~ 4%
Stòr solais: lampa gealbhruthach 6V 5W
Tonn sìoltachan eadar-theachd uaine: λ≒530nm
Leud leth λ≒10nm
Àrdachadh prìomh mhiocroscop: 110 mm
Àrdachadh clàr: 5 mm
Raon gluasad ann an stiùireadh X agus Y: ~10 mm
Raon rothlach de chlàr-obrach: 360 °
Raon teilt de bhòrd obrach: ± 6 °
Siostam coimpiutair: P4, 2.8G no barrachd, taisbeanadh sgrion rèidh 17-òirleach le 1G no barrachd cuimhne